非晶硅薄膜太阳能电池技术哪位清楚?

1、作为镀膜用的硅烷、氢气、硼烷、磷烷、甲烷、氩气等;2、作为衬底的TCO透明导电玻璃,或者用不锈钢箔或耐高温的高分子材料;封装用的背板玻璃或back sheet、EVA或PVB、接线盒及灌封胶、密封胶等;3、作为背电极材料的AZO靶材、Al或Ag等金属靶材,或者使用LPCVD制备的BZO等。